化學蝕刻加工是以零件的原始表面為基準，并不像大多數的機械加工方法那樣，是以金屬切削機床的基準面來作為加工基準，其加工偏差只受機床固有的加工精度的影響。因此，化學蝕刻加工所能達到的加工公差主要受一下幾個方面因素的影響。

1. 零件材料的影響：同一種材料所產生不同的蝕刻速度及效果，使其在同一個腐蝕液中也會具有不同的腐蝕公差。

2. 零件尺寸大小的影響：零件尺寸越大，在腐蝕槽中所處的位置不同，因而各部分出現腐蝕差異的可能性就更大，主要表面是蝕刻速度的差異。

3. 零件懸掛方式的影響：一個大型的板材零件如果是垂直放于腐蝕槽中，經腐蝕后會出現下薄上后的錐形，所以在計算公差時也應把這種由腐蝕加工本身造成的公差計入總公差。

4. 腐蝕劑的影響：必須要嚴格控制腐蝕液化學成分的濃度范圍，保持腐蝕劑在腐蝕槽中各部分的溫度分布均勻，保持腐蝕液在腐蝕槽中各部分濃度均勻。

5. 腐蝕加工深度的影響：腐蝕加工深度越深，零件在腐蝕液中浸泡時間越長，而時間越長，蝕刻液各種化學成分的變化也越大，進而使蝕刻速度及腐蝕效果的變化增大。

6. 樣板精度及圖形轉移精度的影響：一、刻劃圖形所使用的樣板，這種樣板的精度受樣板加工成本的影響很大。二、用于照相及絲印圖形轉移所用的照相底片，照相底片可以很高的精度，特別是對照相圖形轉移可以做到和照相底片幾乎完全一樣的圖形轉移精度。

7. 腐蝕加工過程的影響。要保證腐蝕水平的精度，必須通過實驗確定側蝕率，并以此確定圖形樣板的精確尺寸范圍。由于化學蝕刻在水平方向上變化的影響，所以用于加工尺寸非常精確的凹槽或凸肋都是不可取的。由于水平方向公差要求在±0.25mm-±0.5mm范圍內的加工得到了廣泛應用，特別是飛機工業、艦船等特殊行業大量使用。

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