狹縫加工方法

狹縫是光譜儀的主要部件之一。狹縫是一條寬度可調、狹窄細長的縫孔。有固定狹縫，單邊可調的非對稱式狹縫和雙邊可調的對稱狹縫。光輻射經光譜儀色散分光后的每條譜線，都是入射狹縫的像。進入單色器或從單色器出射的輻射能量，均由狹縫寬度調節。現代光譜儀中狹縫與光柵的轉動耦合在一起，可自動調節。狹縫寬度的單位為μm，最大寬度為2mm。攝譜儀僅有入射狹縫，單色儀有入射、出射兩個狹縫，多色儀有數個出射狹縫。

狹縫按功能區分，又可分為入射狹縫和出射狹縫。出射入射和中間狹縫是喇曼光譜儀的重要部分。入射、出射狹縫的主要功能是控制儀器分辨率，中間狹縫主要是用來抑制雜散光。對于一個光譜儀，即使用一絕對單色光照射狹縫，其出射光也總有一寬度為Δυ的光譜分布。這主要是由儀器光柵，光學系統的象差，零件加工及系統調整等因素造成的，并由此決定了儀器的極限分辨率。在實際測量中，隨著狹縫寬度加大，分辨率還要線性下降，使譜線展寬。

狹縫的制作方法有以下幾種：

一、簡單加工

線切割：此種工藝加工的狹縫，狹縫周邊會有一些缺陷。由于線切割會產生一些油污等，需要后期清理，清洗要干凈。另外，線切割由于絲的快慢直接影響到縫的垂直邊的直線度，所以盡量用使用慢走絲加工。關鍵處的下刀和收刀的口的銜接部份，需要后期毛剌的拋光處理。相對來說效率比較低，而且對于一些超薄材料的加工，不太適合。線切割加工的縫隙寬度一般都在0.2mm以上，對于一高精密的狹縫是不能滿足要求的。

二、有難度激光加工

激光加工狹縫比線切割的效率要快。但也存在切割加工的一些不足，比如：下刀和收刀口的棱邊處理。由于激光是通過光溫燒切材料，容易在縫的周邊存留一下殘渣，殘渣的顏色都是黑色，而且很難清理。激光加工的最小的縫可以達到0.1mm，甚至更小的縫。但是，放大N倍后，波浪紋的存在是其最大的缺陷。另外，激光加工狹縫容易通過高溫改變材料的性質，對于一些特殊材料的材料，容易產生影響。

三、替代方案：蝕刻加工

蝕刻加工狹縫目前為數不多，而且要達到的微米級的加工企業更不多。卓力達是目前業界通過蝕刻加工狹縫的知名企業。蝕刻加工狹縫是，是以不銹鋼，銅等金屬材料為原料，材料厚度也限制了這種工藝可以加工的最小縫隙。卓力達目前使用0.03mm厚的材料，加工0.05mm最小的縫隙。如果縫寬加大的話，可使用材料厚度選擇范圍更大。比如：加工0.2mm的縫，那么材料厚度從0.03至0.1mm均可使用。方便客戶后期的狹縫的裝配，固定。卓力達加工狹縫精度最高可達+/-0.005mm，也是目前光譜儀等設備首選部件。獨刻加工完后的狹縫可以整板就行發黑處理，大大提高產品的利用率和生產效率。

四、電子束加工

電子束加工的最大優點是可以加工極小的狹縫，加工的材料也有多種，金屬和非金屬都可行。但是，電子束加工的難度相當高，而且成本比前三種大大高出很多倍，性價比很低。由于這種工藝可加工的狹縫可達到幾微米，應用的范圍也較小，主要是針對高端市場產品而用。

五、可調狹縫

顧名思義，就是作兩片邊緣非常整齊的片，使用工具制作一種可調整縫寬的狹縫。

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